山東大學新材料實驗室不銹鋼特種氣體配氣柜設備的現狀
原不銹鋼自動配氣系統的材質為316L,配合減壓閥裝置,流量計和旁路管道分支,管線錯綜復雜,標識不明顯,且氣體流量計的精度與現實不符,使用起來非常不方便。
山東大學新材料實驗室不銹鋼特種氣體柜的設計要求
如圖所示,配氣柜的功能要達到將H2,CH4,N2,CO2四種氣體的任意兩種進行充分混合后輸出混合氣,可達到自動氣體配氣設備的使用要求,對于特種氣體配氣設備的定制,采用316L不銹鋼氣體管道和減壓控制系統,設備研發定制需與甲方實際儀器設備的使用要求,根據配置比例和流量要求,出具設備清單價格進行比對。
項目為山東大學新材料實驗室氣體配氣裝置配氣箱的設計與安裝,在設計智能氣體混氣配氣設備之前,混合氣體配氣柜需要以下幾個幾項來做溝通,達到多通量動態標準氣體配氣箱的使用要求和標準。
序號 | 項目 | 參數 |
---|---|---|
1 | 管道氣體種類 | 此項目有H2,CH4,N2,CO2四種氣體 |
2 | 壓力表 | 量程(MPa)根據儀器的使用壓力來定 |
3 | 質量流量計 | 量程SCCM 數顯 可設置,根據客戶使用要求 |
4 | 管徑 | 口徑1/4或3/8 |
5 | 管道材質 | 316L,BA級或EP級,EP級半導體行業多選擇 |
6 | 各種閥門 | 依照管徑及圖示選擇 |
7 | 氣體柜大小 | 配氣柜的尺寸大小,分為落地式或桌面式,根據客戶現場情況定制定做均可 |
大學實驗室自動氣體配氣設備定制圖
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